特許

J-GLOBAL ID：200903087279450470

カンチレバー状変位素子、カンチレバー型プローブ及びそれを用いた情報処理装置と走査型トンネル顕微鏡

発明者： 川崎 岳彦 ,  山本 敬介 ,  鈴木 義勇
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-265449
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079813
出願日： 1991年09月18日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】 逆圧電効果を利用したカンチレバー状変位素子において、大きな変位量を確保しつつ、耐久性、製造の簡易化、集積化等を達成することにある。【構成】 圧電体薄膜3の上下面に、該圧電体薄膜3を逆圧電効果により変位させるための電極2,4を設けてなる薄膜カンチレバー状変位素子において、該圧電体薄膜3が単一層でかつ上下電極2,4が同一形状からなり、さらに、該圧電体薄膜3が、不純物添加により半導体化された圧電材料、もしくは半導体化せしめることが可能な圧電材料よりなるカンチレバー状変位素子、を特徴とする。

請求項（抜粋）：

圧電体薄膜の上下面に、該圧電体薄膜を逆圧電効果により変位させるための電極を設けてなる薄膜カンチレバー状変位素子において、該圧電体薄膜が単一層でかつ上下電極が同一形状からなり、さらに、該圧電体薄膜が、不純物添加により半導体化された圧電材料、もしくは半導体化せしめることが可能な圧電材料よりなることを特徴とするカンチレバー状変位素子。

IPC (6件)：

G01B 7/34 ,  G01B 7/00 ,  G01B 21/30 ,  G11B 9/00 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187

FI (2件)：

H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 J

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-311702
  
• 特開昭63-053985
  
• 特開昭61-210686
  
• 特開平2-210633