特許
J-GLOBAL ID：200903087300098731
光ビーム測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-027149
公開番号（公開出願番号）：特開平11-223551
出願日： 1998年02月09日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：
【要約】【課題】 複数の光ビームのスポットの径、位置等の測定を高速かつ高精度に行うことができる、低コストな光ビーム測定装置を提供する。【解決手段】 複数の光源を有する半導体レーザアレイ101から出射された複数の光ビームの走査面105の高さ方向を、拡大光学系2a、2bを介してCCDラインセンサ3a、3bによって同時に検出し、CCDラインセンサ3a、3bを走査面105の横方向に移動させ、CCDラインセンサ3a、3bで走査面105の全領域の複数の光ビームを検出する。このCCDラインセンサ3a、3bから出力される検出信号に基づいて、制御部4は、走査面105上における複数の光ビームの最大値、ビーム径、ビーム位置、ビーム位置間隔等の光ビームデータを演算する。
請求項（抜粋）：
2次元状に所定のパターンで配置された複数の光源を有する光源アレイから出射された複数の光ビームにより、主走査方向および副走査方向に所定のサイズを有する2次元状の走査面を走査する光ビーム測定装置において、前記複数の光ビームによって形成された複数のスポット中の少なくとも1つのスポットを所定のスポット形成面に形成する光学手段と、副走査方向に配置された複数の受光素子によって形成され、前記少なくとも1つのスポット副走査方向のスポット径をカバーする光センサと、前記光センサを前記スポット形成面において主走査方向に所定のストロークで移動させ、前記所定のストロークの各ストロークの停止位置において前記光センサに前記少なくとも1つのスポットを受光させる移動手段と、前記少なくとも1つのスポットの受光に基づいて前記光センサの前記複数の受光素子から出力される複数の光量信号をストアするメモリと、前記各ストロークの停止位置毎に出力された前記複数の光量信号を前記メモリから読み出して前記少なくとも1つのスポットの位置およびスポット径を演算する演算手段を備えたことを特徴とする光ビーム測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01J 1/02 L
, B41J 3/00 D
