特許
J-GLOBAL ID：200903087315398502
クラック検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 精孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-057430
公開番号（公開出願番号）：特開平8-255249
出願日： 1995年03月16日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：
【要約】【目的】 ワークにおけるクラック有無を正確に判定して検査精度を向上できるクラック検査装置を提供する。【構成】 検査用液をクラック1aに浸入させて滲みを発生させることにより、検査面におけるクラックの輝度を素地輝度よりも低減させることができるので、輝度に基づいてクラックを凹凸等と的確に識別することができる。
請求項（抜粋）：
ワークの検査面を除く部分に検査用液を供給して該検査用液をクラックに浸入させる手段と、検査用液供給後にワークの検査面を撮像してその画像を得る手段と、検査面画像を構成する画素の中から素地輝度よりも低輝度の画素を抽出して、その連続数が所定値以上のときにクラック有りの判定を行う手段とを具備した、ことを特徴とするクラック検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G06F 15/62 405 A
, G01N 21/88 J
