特許
J-GLOBAL ID：200903087330670847
研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-219828
公開番号（公開出願番号）：特開平6-053195
出願日： 1992年07月27日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 エアースピンドルの先端に取り付けた回転砥石で半導体ウェーハ等を研磨する研磨装置において、スピンドルの下降し過ぎによる噛り現象や衝突事故による損傷を最小限に抑えられるようにする。【構成】 先端に回転砥石2を取り付けるスピンドル1と、このスピンドルを保持するスピンドルハウジング5に電極を配設して電気回路を形成し、この電気回路に電流検出手段14及び制御手段15を設ける。スピンドルとスピンドルハウジングとが接触した時に流れる電流を電流検出手段で検出し、この検出に基づいて制御手段を働かせてスピンドルの動きを制御する。
請求項（抜粋）：
先端に回転砥石等の研磨部材を取り付けるスピンドルと、このスピンドルをエアーを介して保持するスピンドルハウジングに電極を配設して電気回路を形成し、この電気回路に電流検出手段及び制御手段を設け、電流検出手段による電流の検出に基づいて前記制御手段を制御することを特徴とする研磨装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 321
, B24B 1/00
, B24B 7/22
, B24B 49/10
