特許

J-GLOBAL ID：200903087350759321

ネガ型感放射線性樹脂組成物

発明者： 梶田 徹 ,  小林 英一 ,  大田 利幸 ,  三浦 孝夫
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-109145
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281715
出願日： 1992年04月03日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】 現像性、パターン形状、耐熱性等に優れ、且つエキシマレーザーを含む各種の放射線に感応しうる微細加工用レジストとして有用な新規ネガ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 ネガ型感放射線性樹脂組成物は、(イ)アルカリ可溶性樹脂、(ロ)放射線の照射により酸を発生する化合物並びに(ハ)下記式で示されるオキサゾリン誘導体【化1】および/または下記式で示されるオキサジン誘導体【化2】で代表される架橋剤を含有する。

請求項（抜粋）：

(イ)アルカリ可溶性樹脂、(ロ)放射線の照射により酸を発生する化合物、並びに(ハ)下記一般式(1)で示されるオキサゾリン誘導体【化1】および/または下記一般式(2)で示されるオキサジン誘導体【化2】〔一般式(1)および(2)において、mは2〜4の整数であり、Raはm価の脂肪族、脂環族もしくは芳香族の炭化水素基を示すか、またはm=2のときは直接結合でもよく、R1〜R6は同一でも異なってもよい水素原子、脂肪族炭化水素基または芳香族炭化水素基を示す。〕を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 505 ,  H01L 21/027