特許
J-GLOBAL ID：200903087351653250
ハロゲン系腐食性ガスに対する耐蝕性部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-318196
公開番号（公開出願番号）：特開2001-131667
出願日： 1999年11月09日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
要約：
【要約】【課題】アルミニウム合金基を用いた耐蝕性部材において、ハロゲン系腐食性ガスやそのプラズマに対して、高温下で曝露されても、腐食による重量変化がほとんどない耐蝕性部材を提供する。【解決手段】前記耐蝕性部材がアルミニウム合金からなり、アルミニウム合金が、合金成分として珪素、鉄、チタンおよび銅をそれぞれ0.01-100質量ppm含有しており、炭素を0.1-50質量ppm含有しており、マグネシウムの量が1000質量ppm以下であり、他の金属元素の量がいずれも20質量ppm以下であり、これら他の金属元素の量の合計が50質量ppm以下であり、前記耐蝕性部材の表面の任意の縦50μm、横40μmの領域に、珪素、鉄、チタンおよび銅からなる群より選ばれた金属を含有する径1μm以上の析出物が存在しない。
請求項（抜粋）：
ハロゲン系腐食性ガスに対する耐蝕性部材であって、前記耐蝕性部材がアルミニウム合金からなり、このアルミニウム合金が、合金成分として珪素、鉄、チタンおよび銅をそれぞれ0.01-100質量ppm含有しており、炭素を0.1-50質量ppm含有しており、マグネシウムの量が1000質量ppm以下であり、他の金属元素の量がいずれも20質量ppm以下であり、これら他の金属元素の量の合計が50質量ppm以下であり、前記耐蝕性部材の表面の任意の縦50μm、横40μmの領域に、珪素、鉄、チタンおよび銅からなる群より選ばれた金属を含有する径1μm以上の析出物が存在しないことを特徴とする、耐蝕性部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C22C 21/00 N
, C04B 41/88 Z
