特許

J-GLOBAL ID：200903087356488680

ナフトキノンジアジドスルホン酸混合エステルを含む組成物およびそれを使用して製造した放射感応性記録材料

発明者： ジークフリート、シェルラー ,  ウォルフガング、ツァーン ,  アクセル、シュミット ,  ゲルハルト、ブール
出願人/特許権者： ヘキスト・アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-087280
公開番号（公開出願番号）：特開平6-027656
出願日： 1992年04月08日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 水に不溶であるが、水性アルカリ溶液には可溶である、または少なくとも膨潤し得る樹脂状結合剤、少なくとも一つの放射感応性化合物および所望により架橋剤を含む放射感応性組成物およびそれを使用して製造した放射感応性記録材料を提供。【構成】 この放射感応性化合物は、a)2〜6個の芳香族水酸基を含む化合物、b)リング置換した(o-ナフトキノン2-ジアジド)-4-スルホン酸(ジアゾ化合物D1 )、およびc)それ以上置換していない(o-ナフトキノン 2-ジアジド)-4-または-5-スルホン酸(ジアゾ化合物D2 )および/または非放射感応性有機酸(化合物D0 )からなるエステルであり、D1 :(D2 および/またはD0 )モル比が0.1:1〜30:1である。

請求項（抜粋）：

水に不溶であるが、水性アルカリ溶液には可溶であるかまたは少なくとも膨潤し得る樹脂状結合剤および少なくとも一つの放射感応性化合物を含む放射感応性組成物であって、その放射感応性化合物が、a)2〜6個の芳香族水酸基を含む化合物、b)リング置換した(o-ナフトキノン 2-ジアジド)-4-スルホン酸(ジアゾ化合物D1 )、およびc)それ以上置換していない(o-ナフトキノン 2-ジアジド)-4-または-5-スルホン酸(ジアゾ化合物D2 )および/または非放射感応性有機酸(化合物D0 )からなるエステルであり、D1 :(D2 および/またはD0 )モル比が0.1:1〜30:1であるることを特徴とする、放射感応性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/00 503 ,  H01L 21/027