被除去物の再利用方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田敬 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-264799
公開番号（公開出願番号）：特開2002-192465
出願日： 2000年05月26日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：

【要約】【課題】従来、ダイシング等の機械的加工により発生する研磨屑、研削屑は、水で流され、フィルタで濾過されていた。しかし排水がアルカリ性を示すと、ゲル状またはコロイド状の生成物が現れ、フィルタに目詰まりを発生させていた。【解決手段】排水のpHを測定し、所望のpHにするためにpH調整手段12を取り付ける。pHが測定された排水は、その値によりアルカリ性または酸性を示す薬品が加えられ、所望のpHに排水が調整される。特にシリコンの屑では、中性または酸性側にその排水が調整され、ゲル状またはコロイド状の物質の生成を防止し、フィルタの目詰まりを防止する。また、高濃度に濃縮された被除去物は、ウェハ用のシリコンのインゴット、瓦、セメントまたはコンクリートとして再利用することができる。

請求項（抜粋）：

pHが調整された排水から分離された被除去物を回収し再利用することを特徴とする被除去物の再利用方法。

IPC (7件)：

B24B 57/02 , B01D 37/02 , B01D 61/14 , C02F 1/44 , C04B 18/04 ZAB , C04B 33/13 , H01L 21/304 622

FI (7件)：

B24B 57/02 , B01D 37/02 B , B01D 61/14 , C02F 1/44 E , C04B 18/04 ZAB , C04B 33/13 D , H01L 21/304 622 E

Fターム (38件)：

3C047GG14 , 3C047GG15 , 3C047GG17 , 4D006GA02 , 4D006HA61 , 4D006HA93 , 4D006JA02A , 4D006JA04A , 4D006JA04B , 4D006JA06A , 4D006JA07A , 4D006JA08A , 4D006JA19A , 4D006JA22A , 4D006JA27A , 4D006JA31A , 4D006JA53A , 4D006JA58A , 4D006JA63A , 4D006JA71 , 4D006KA03 , 4D006KA12 , 4D006KA43 , 4D006KA63 , 4D006KD11 , 4D006MA16 , 4D006MB02 , 4D006PA04 , 4D006PB08 , 4D006PB70 , 4D006PC01 , 4D066BA01 , 4D066BB20 , 4D066CA01 , 4D066CB01 , 4D066FA01 , 4D066FA05 , 4D066FA06

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-061691
特開昭62-061691
研磨剤の回収再利用方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-276643 出願人：日本電気株式会社, 栗田工業株式会社

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