特許
J-GLOBAL ID:200903087369816563
フラーレン類の製造装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
重野 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-282931
公開番号(公開出願番号):特開平5-116920
出願日: 1991年10月29日
公開日(公表日): 1993年05月14日
要約:
【要約】【目的】 フラーレン類を含むすすの回収効率を高めると共に、装置の連続運転を可能とする。【構成】 チャンバ24の下部にプラズマ発生部Aを設置し、上部に排気口32を設ける。プラズマ発生部Aと排気口32との間に無端回動可能なベルト34を設ける。このベルト34から付着したすすを剥ぎ取るためのブレード38、40を設ける。【効果】 プラズマ発生部Aで発生したフラーレン類を含むすすは、排気口32に向って流れ、その途中でベルト34に付着する。この付着したすすはブレード38、40で剥ぎ取られ、貯蔵ゾーン42に回収される。プラズマ発生部Aで発生したすすの大部分が、反応室内に四散することなくベルト34に付着し、回収されるため、すす及びそれに含まれるフラーレン類の回収効率がきわめて高い。また、装置を停止することなく長時間連続運転が可能である。
請求項(抜粋):
内部にプラズマ発生部が設置された反応室と、該プラズマ発生部に炭素及び希ガスを供給する手段と、該プラズマ発生部から離隔した位置に設けられた、該反応室からのガス排出口と、該プラズマ発生部と該ガス排出口との間の位置に無端回動可能に設置されたベルトと、該ベルトから付着物を剥ぎ取るように該ベルトに摺接しているブレードと、を備えてなるフラーレン類の製造装置。
IPC (2件):
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