特許

J-GLOBAL ID：200903087372941891

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム

発明者： 石川 力 ,  木村 仁子
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-119830
公開番号（公開出願番号）：特開平11-310605
出願日： 1998年04月30日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 リードフレームやメタルマスクの基板などに用いられる42アロイやSUS等の鉄系合金との密着性及び解像度に優れ、金属のエッチング時にレジストと金属との界面へのエッチング液のしみこみを防ぎ、精密金属加工に好適に用いることができ、取り扱い性、作業性に優れた感光性フィルムを提供する。【解決手段】 (A)メタクリル酸15〜40重量%とスチレン1〜50重量%と一般式(I)で表される単量体10〜84重量%とを共重合成分として得られるバインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤及び(D)一般式(II)で表されるテトラゾール化合物又はその水溶性塩を含有してなる感光性樹脂組成物並びに支持体上に前記感光性樹脂組成物を塗布、乾燥してなる感光性フィルム。

請求項（抜粋）：

(A)メタクリル酸15〜40重量%とスチレン1〜50重量%と下記一般式(I)【化1】(式中、R1は水素原子又はメチル基を示し、R2は炭素数1〜12のアルキル基を示す)で表される単量体10〜84重量%とを共重合成分として得られるバインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤及び(D)下記一般式(II)【化2】(式中、R3及びR4は、各々独立に、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、フェニル基、アミノフェニル基、炭素数7〜20のアルキルフェニル基、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基又は炭素数2〜10のカルボキシアルキル基を示す)で表されるテトラゾール化合物又はその水溶性塩を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (12件)：

C08F 2/50 ,  C08F 2/44 ,  C08F291/06 ,  C08K 5/3472 ,  C08K 5/378 ,  C08L 25/14 ,  C08L 33/02 ,  C08L 33/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/033 ,  H01L 23/50

FI (12件)：

C08F 2/50 ,  C08F 2/44 C ,  C08F291/06 ,  C08K 5/3472 ,  C08K 5/378 ,  C08L 25/14 ,  C08L 33/02 ,  C08L 33/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/033 ,  H01L 23/50 A