特許

J-GLOBAL ID：200903087379227060

クリーンルーム内搬送システム

発明者： 村田 正直 ,  山下 哲平 ,  田中 幹 ,  星子 孝秀 ,  苅田 充二 ,  河野 等 ,  新谷 勉
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
代理人 (1件)： 小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-177218
公開番号（公開出願番号）：特開平6-016206
出願日： 1992年07月03日
公開日（公表日）： 1994年01月25日
要約：

【要約】【目的】 ウエハ搬送効率を向上することができ、効率の良い多種処理を容易に可能にするクリーンルーム内搬送システムを提供することを目的とする。【構成】 工程間搬送用の搬送装置との間でウエハをやりとりするインターフェース装置、このインターフェース装置から伸びる搬送路、この搬送路上を走行する装置間搬送装置、前記搬送路に沿って配設され1つのラインを構成する1もしくは複数のウエハ処理装置を備え、上記工程間搬送用の搬送装置はウエハを収納したカセットを搬送し、上記インターフェース装置40は当該インターフェース装置へ搬送された1もしくは複数の上記カセットから指定された枚数のウエハを抽出して上記ラインに専用のカセット101に移し替え、上記装置間搬送装置は上記専用のカセットを移載して指定された上記ウエハ処理装置まで走行し、当該ウエハ処理装置との間でウエハを枚葉でやりとりすることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

工程間搬送用の搬送装置との間でウエハをやりとりするインターフェース装置、このインターフェース装置から伸びる搬送路、この搬送路上を走行する装置間搬送装置、前記搬送路に沿って配設され1つのラインを構成する1もしくは複数のウエハ処理装置を備え、上記工程間搬送用の搬送装置はウエハを収納したカセットを搬送し、上記インターフェース装置は当該インターフェース装置へ搬送された1もしくは複数の上記カセットから指定された枚数のウエハを抽出して上記ラインに専用のカセットもしくは所定のウエハ収納箇所に移し替え、上記装置間搬送装置は上記専用のカセットもしくは上記移し替えられたウエハ/ウエハ群群を移載して指定された上記ウエハ処理装置まで走行し、当該ウエハ処理装置との間でウエハを枚葉でやりとりすることを特徴とするクリーンルーム内搬送システム。

IPC (3件)：

B65G 1/00 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-117512
  
• 特開昭64-049237
  
• 特開昭62-121106
  
• 特開昭58-191446