特許

J-GLOBAL ID：200903087381025318

被検査体の表面を検査する方法

発明者： 水村 勉 ,  小澤 義一 ,  市川 武清 ,  山口 晃
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (4件)： 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-221353
公開番号（公開出願番号）：特開2004-061354
出願日： 2002年07月30日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：

【課題】被検査体の表面上の微細な特徴要素及び凹凸を撮像カメラにより正確に認識することを可能とさせる。【解決手段】撮像カメラ16の光軸18上に被検査体12を配置し、その表面の検査すべき領域にスポット光24を投光して、検査すべき領域内における表面の凹凸により又は検出せんとする特徴要素20とその他の要素とにより生じる反射光の明暗差を拡大させるようにする。これにより、撮像カメラ16により得た反射光の明暗差に基づいて、被検査体12の表面の凹凸又は特徴要素20を正確に検出できるようになる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

撮像カメラの光軸上に被検査体を配置し、該被検査体の表面の検査すべき領域にスポット光を投光して、前記領域内における表面の凹凸により生じる反射光の明暗差を拡大させ、前記撮像カメラにより得た反射光の明暗差に基づいて前記表面の凹凸を検出するようにしたことを特徴とする被検査体の表面を検査する方法。

IPC (2件)：

G01N21/956 ,  H01L21/66

FI (2件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/66 J

Fターム (16件)：

2G051AA51 ,  2G051AB20 ,  2G051BB03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB08 ,  4M106DB11 ,  4M106DB19