特許
J-GLOBAL ID:200903087386963707
高強度高信頼性窒化ケイ素質焼結体およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
小塩 豊
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-247073
公開番号(公開出願番号):特開平7-101775
出願日: 1993年10月01日
公開日(公表日): 1995年04月18日
要約:
【要約】【目的】 強度に優れ、かつまた強度のばらつきが小さい信頼性の高い窒化ケイ素質焼結体を提供する。【構成】 粒界相とβ型窒化ケイ素粒子を主体とする窒化ケイ素質焼結体において、粒界相はイッテルビウムを含む酸化物あるいは酸窒化物よりなり、β型窒化ケイ素粒子は焼結体の切断面を観察したときに粒径が10μm以上の粒子が5面積%以下の量でかつ粒径が3μm以上10μm未満の粒子が5面積%以上30面積%以下の量で残部が3μm未満の粒子である窒化ケイ素質焼結体。
請求項(抜粋):
粒界相とβ型窒化ケイ素粒子を主体とする窒化ケイ素質焼結体において、粒界相はイッテルビウムを含む酸化物あるいは酸窒化物よりなり、β型窒化ケイ素粒子は焼結体の切断面を観察したときに粒径が10μm以上の粒子が5面積%以下の量でかつ粒径が3μm以上10μm未満の粒子が5面積%以上30面積%以下の量で残部が3μm未満の粒子であることを特徴とする窒化ケイ素質焼結体。
FI (3件):
C04B 35/58 102 C
, C04B 35/58 102 D
, C04B 35/58 102 K
引用特許:
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