特許
J-GLOBAL ID：200903087391164243
圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-388377
公開番号（公開出願番号）：特開2002-188973
出願日： 2000年12月21日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構成で、且つ、高精度に圧力を検出することのできる圧力センサを提供することが課題である。【解決手段】 中央に開口部7が形成された上部ガラス2と、中央にダイヤフラム3bが形成されたシリコン3と、中央に開口部9が形成された下部ガラス4と、を積層する。そして、上部ガラス2とダイヤフラム3bとの間に共振駆動回路5を設置して、ダイヤフラム3bに所定周波数の電圧を印加し、該ダイヤフラム3bを振動させる。また、下部ガラス4とダイヤフラム3bとの間に振幅測定回路6を設置して、ダイヤフラム3bに発生する振動の振幅を測定する。そして、圧力検出部13では、測定された振幅に基づいて、被測定圧側の圧力を求める。
請求項（抜粋）：
被測定圧側と、大気圧側との間に設置して、前記被測定圧側の圧力を検出する圧力センサであって、中央部にダイヤフラムが形成され、周辺側が支持部とされたダイヤフラム基板と、前記ダイヤフラム基板の一方の面側の前記支持部に固着され、中心部近傍に開口部を有し、前記被測定圧側に配設される第1の基板と、前記ダイヤフラム基板の他方の面側の前記支持部に固着され、中心部近傍に開口部を有し、前記大気圧側に配設される第2の基板と、前記第1の基板に形成される第1の電極と、前記第2の基板に形成される第2の電極と、前記第1の電極と、前記ダイヤフラム基板との間に電圧を印加して前記ダイヤフラムを振動させる振動発生手段と、前記ダイヤフラムに発生する振動の振幅を測定する振幅測定手段と、前記振幅測定手段にて測定された振幅の大きさに基づいて、前記被測定圧側の圧力を測定する圧力検出手段と、を有することを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L 9/00 C
, H01L 29/84 Z
2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC53
, 2F055DD05
, 2F055EE39
, 2F055FF11
, 2F055GG47
, 4M112AA01
, 4M112BA08
, 4M112CA04
, 4M112CA11
, 4M112CA13
, 4M112CA15
, 4M112EA03
, 4M112EA13
, 4M112FA20
, 4M112GA01
