真空チャンバ及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤巻正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-244196
公開番号（公開出願番号）：特開2000-071090
出願日： 1998年08月28日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：

【要約】【課題】厚さが20mmを超えるような厚肉のアルミニウム又はアルミニウム合金部材を構成部材とする場合にも、引け巣、ピンホール、ブローホール及びミクロシュリンケージ等の欠陥が発生せず、製造コストが低く、大型の製品の製造も容易である真空チャンバ及びその製造方法を提供する。【解決手段】アルミニウム又はアルミニウム合金製の複数個の部材1,2の接合端部に、チャンバ内面側の第1接合端面5外面側の第2接合端面6とを段差を持たせて形成し、端面5同士を当接させて凹部7を形成し、端面5同士を摩擦固相接合により接合して固相接合部8を形成し、凹部7をMIG等の溶融接合により接合して溶融接合部9を形成する。固相接合部8の長さは3乃至15mmである。

請求項（抜粋）：

アルミニウム又はアルミニウム合金製の複数個の部材を溶接により接合して組み立てられた真空チャンバにおいて、前記部材は、その少なくとも一部の接合部にて、部材の厚さ方向のチャンバ内面側の第1部分が相互に当接され、チャンバ外面側の第2部分は相互に離隔するように開先が形成されたものであり、前記第1部分は摩擦撹拌接合により接合されており、前記第2部分は溶融接合により接合されていることを特徴とする真空チャンバ。

IPC (5件)：

B23K 28/02 , B01J 3/00 , B23K 9/173 , B23K 20/12 , B23K 33/00

FI (6件)：

B23K 28/02 , B01J 3/00 K , B23K 9/173 A , B23K 20/12 G , B23K 20/12 D , B23K 33/00 Z

Fターム (10件)：

4E001AA03 , 4E001BB08 , 4E001CB01 , 4E001CC04 , 4E001QA02 , 4E067AA05 , 4E067BG02 , 4E067DA13 , 4E067DA17 , 4E067EB00

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