特許

J-GLOBAL ID：200903087395204690

研磨シミュレーション方法

発明者： 高橋 洋
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-206759
公開番号（公開出願番号）：特開平10-044028
出願日： 1996年08月06日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：

【要約】【課題】 実際のパターンに対応した研磨シミュレーションを短時間で行うようにすること。【解決手段】 本発明は、予め研磨ヘッド3から基板1へ加えられる圧力、研磨クロス5と基板1との相対速度、凹凸の初期段差、研磨時間、研磨クロス5のヤング率、研磨クロス5の厚さ、基板1上の所定位置における凹凸の密度分布をパラメータとし、かつ凹凸の密度分布に対して圧力が独立のパラメータとなっている研磨時間経過後の凹凸の高さを示す関数を求めておき、所定の研磨時間経過後の凹凸の高さを求めるにあたり、この関数に対して圧力、相対速度、初期段差、研磨時間、ヤング率、研磨クロス5の厚さ、凹凸の密度分布を代入して、直接最終的な研磨時間経過後の凹凸の高さを求める方法である。

請求項（抜粋）：

基板を研磨ヘッドと研磨クロスとの間で挟持した状態で該基板に形成された凹凸を研磨する際のシミュレーション方法であって、予め、前記研磨ヘッドから前記基板へ加えられる圧力、前記研磨クロスと該基板との相対速度、前記凹凸の初期段差、研磨時間、研磨クロスのヤング率、研磨クロスの厚さ、該基板上の所定位置における該凹凸の密度分布をパラメータとし、かつ該凹凸の密度分布に対して該圧力が独立のパラメータとなっている該研磨時間経過後の該凹凸の高さを示す関数を求めておき、所定の研磨時間経過後の前記凹凸の高さを求めるにあたり、前記関数に対して前記圧力、前記相対速度、前記初期段差、該研磨時間、前記ヤング率、前記研磨クロスの厚さ、前記凹凸の密度分布を代入して、直接最終的な該研磨時間経過後の該凹凸の高さを求めることを特徴とする研磨シミュレーション方法。