特許

J-GLOBAL ID：200903087419048511

高密度磁気記録媒体作製法およびこれによる高密度磁気記録媒体

発明者： 石橋 雅義 ,  萩野谷 千積 ,  小池 和幸 ,  和田 恭雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-131912
公開番号（公開出願番号）：特開平10-320772
出願日： 1997年05月22日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】 磁性粒子を孤立化させた記録ビットを持つ高密度磁気記録媒体を作製すること。【解決手段】 2次元に配列した直径数ナノメートルから数マイクロメートルの微粒子をマスクとして用い、リソグラフィー技術により磁性粒子を孤立化させた記録ビットを持つ磁気記録媒体を作製する。

請求項（抜粋）：

磁気媒体基板表面に実質的に大きさのそろった微粒子を2次元1層に密に配列すること、該微粒子に該微粒子が配列された位置で粒径を縮小させる処理を施すこと、前記磁気媒体基板表面側からマスク材を付着させること、前記磁気媒体基板表面から前記微粒子を除去すること、前記磁気媒体基板の前記除去された微粒子に対応する位置にリソグラフィー技術により穿孔すること、該穿孔に磁性材を埋めること、よりなることを特徴とする高密度記録磁気媒体の作製法。

IPC (3件)：

G11B 5/85 ,  G11B 5/66 ,  G11B 5/84

FI (3件)：

G11B 5/85 Z ,  G11B 5/66 ,  G11B 5/84 Z