特許

J-GLOBAL ID：200903087419877526

液体噴射ヘッドの製造方法

発明者： 横田 雅実
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-348955
公開番号（公開出願番号）：特開2002-144586
出願日： 2000年11月16日
公開日（公表日）： 2002年05月21日
要約：

【要約】【課題】 インク吐出口と被記録材の距離を短縮して、印字品位の向上と高精細化等を促進する。【解決手段】 基板1上に、インク流路11とインク吐出口12を有する液体流路形成層10を形成し、吐出エネルギー発生素子2を駆動するための駆動用IC20をフェースダウンで実装する。実装後に、駆動用IC20のチップ裏面を研磨し、二点鎖線で示すもとの厚みを減じて、所定の実装高さにする。この研磨工程は、インク流路11に溶解可能な樹脂の流路パターンが残っている状態で行なう。

請求項（抜粋）：

吐出エネルギー発生素子による液体の吐出方向が基板表面にほぼ垂直であるサイドシューター型の液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記基板表面に前記吐出エネルギー発生素子を駆動するための駆動素子をフェースダウンで実装し、その背面側を研磨することで、前記駆動素子の実装高さを所定の値に低減することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。

Fターム (10件)：

2C057AF21 ,  2C057AF93 ,  2C057AG46 ,  2C057AG89 ,  2C057AK07 ,  2C057AN05 ,  2C057AP22 ,  2C057AP37 ,  2C057AP47 ,  2C057AP57