単結晶ウエハおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-305488
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162799
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】研削によるオリフラを備えるウエハにおけるような表面損失を生じることなく、へき開を容易に行うことができる応力集中ノッチを有する改良型ウエハおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】改良型商用単結晶ウエハ(250)は、エンドユーザに出荷される状態において、完全円の形態を有し、所定のへき開面を正確に明示する「応力集中ノッチ」(172)を備えている。この応力集中ノッチは、単結晶インゴットを所定の最終製品径に機械加工した後でスライス状にのこ切断する前に、そのインゴットの長さ方向に沿って適切に方位された切込みを設けることによって、バルクのウエハに導入される。この応力集中ノッチはウエハの第1および第2面を一意的に明示することができる。

請求項（抜粋）：

仕上端部と、少なくとも1つの仕上面と、ウエハの選択された自然へき開面を明示する応力集中ノッチを備える円面体からなることを特徴とする単結晶ウエハ。

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