特許

J-GLOBAL ID：200903087458949763

インプリント装置およびインプリント方法

発明者： 高井 充 ,  服部 一博 ,  藤田 実
出願人/特許権者： TDK株式会社
代理人 (1件)： 酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-131652
公開番号（公開出願番号）：特開2004-335011
出願日： 2003年05月09日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】樹脂層全域に亘って均一な深さの凹部を有する凹凸形状を転写し得るインプリント装置を提供する。【解決手段】その一面に凹凸部が形成されると共に可撓性を有するスタンパーSの他面を押圧することによってディスク状基材D上のレジスト層Rに凹凸部を押し付けてその凹凸形状をレジスト層Rに転写するノズル4およびエアポンプと、ノズル4を移動させる移動機構とを備え、ノズル4は、エアポンプによって供給される圧縮空気を噴射することでスタンパーSの他面における所定の一部分を押圧可能に構成され、移動機構は、ノズル4に対して所定の一部分を押圧させた状態からノズル4を移動させることによってスタンパーSに対するノズル4およびエアポンプによる押圧完了範囲を徐々に拡大可能に構成されている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

その一面に凹凸部が形成されると共に可撓性を有するスタンパーの他面を押圧することによって基材上の樹脂層に当該凹凸部を押し付けてその凹凸形状を当該樹脂層に転写する押圧手段と、当該押圧手段および前記基材の少なくとも一方を移動させる移動機構とを備え、 前記押圧手段は、前記スタンパーの前記他面における所定の一部分を押圧可能に構成され、 前記移動機構は、前記押圧手段に対して前記所定の一部分を押圧させた状態から当該押圧手段および前記基材の少なくとも一方を移動させることによって前記スタンパーに対する前記押圧手段による押圧完了範囲を徐々に拡大可能に構成されているインプリント装置。

IPC (1件)：

G11B7/26

FI (1件)：

G11B7/26 501

Fターム (8件)：

5D121BB08 ,  5D121BB31 ,  5D121BB33 ,  5D121BB38 ,  5D121GG04 ,  5D121GG07 ,  5D121GG10 ,  5D121GG28