特許

J-GLOBAL ID：200903087461634110

ウェーハ搬送装置

発明者： 鶴見 美一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-184707
公開番号（公開出願番号）：特開2002-009134
出願日： 2000年06月20日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：

【要約】【課題】 ウェーハ搬送装置において、一つの対象物から他の対象物へウェーハを移し替える際に、移し替えに関係する各部のセッティング位置がずれた場合に、各部間で異常接触が生ずることによる損壊等の不都合を解消する。【解決手段】 本発明に係るウェーハ搬送装置は、少なくとも方向転換ができる基台上に、スライド部材と、ウェーハを吸着保持する保持部材とを具備し、一つの対象物から他の対象物にウェーハを移し替える搬送装置であって、該搬送装置の一部に、ウェーハを移し替える各対象物との位置関係を検知・検出する検知・検出手段を設けた構成にしたものである。そして、ウェーハの移し替え動作において、移し替えに関係する各部のセッティング位置がずれた場合に、それを検出して直ちに装置の駆動を停止するものであり、それによって移し替えに関係する各部の異常接触を未然に回避して、各部の破損.損傷等の不都合を防止する。

請求項（抜粋）：

少なくとも方向転換ができる基台上に、スライド部材と、ウェーハを吸着保持する保持部材とを具備し、一つの対象物から他の対象物にウェーハを移し替える搬送装置であって、該搬送装置の一部に、ウェーハを移し替える各対象物との位置関係を検知・検出する検知・検出手段を設けたことを特徴とするウェーハ搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/68 F ,  B65G 49/07 G

Fターム (19件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA13 ,  5F031GA08 ,  5F031GA36 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031JA05 ,  5F031JA09 ,  5F031JA22 ,  5F031JA27 ,  5F031JA30 ,  5F031JA51 ,  5F031MA28 ,  5F031PA09 ,  5F031PA16 ,  5F031PA20