特許

J-GLOBAL ID：200903087468428079

集束イオンビーム装置のレンズ保護用絞り

発明者： 杉山 安彦
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-344821
公開番号（公開出願番号）：特開2001-160369
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：

【要約】【課題】 本発明の課題は、コンデンサレンズの焦点距離を短くとることによって球面収差係数Csも色収差係数Ccも小さくしてビーム径を小さくできるようにすると共に、スパッタリングによって飛散された絞りの素材がイオン源の表面近くに付着してイオン源表面の金属に悪影響を与えることが無いようなレンズ保護用絞りを提供することにある。【解決手段】 本発明は、集束イオンビーム装置においてイオンビームのスパッタリングによって素材が飛散し、該素材がイオン源の表面に付着しても、イオン源表面の金属に悪影響を与えない材料をコンデンサレンズの保護用絞りに用いることを基本思想とするものであって、液体金属イオン源として一般的なガリウムが用いられている場合には同種のガリウムまたは、スズ、インジウムといった悪影響を与えない材料を保護用絞りに用い、イオン源とコンデンサレンズの距離を短く出来るようにした。

請求項（抜粋）：

集束イオンビーム装置におけるコンデンサレンズの前に設置されるものであって、イオンビームのスパッタリングによって素材が飛散し、該素材がイオン源の表面に付着しても、イオン源表面の金属に悪影響を与えない材料を用いたことを特徴とするレンズ保護用絞り。

IPC (4件)：

H01J 37/09 ,  C23C 14/46 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01J 37/09 A ,  C23C 14/46 B ,  H01J 37/317 D ,  H01L 21/30 551

Fターム (9件)：

4K029DE00 ,  4K029DE02 ,  5C033BB01 ,  5C033BB08 ,  5C033BB09 ,  5C034DD01 ,  5C034DD03 ,  5C034DD09 ,  5F056EA04