特許
J-GLOBAL ID：200903087471990284
静電気拡散性を有するセラミックス材料とその製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小堀 益 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-379113
公開番号（公開出願番号）：特開2001-233673
出願日： 2000年12月13日
公開日（公表日）： 2001年08月28日
要約：
【要約】【課題】 酸化物系セラミックスの優れた特性を低下させることなく静電気拡散性を付与し、かつ、その体積抵抗率を任意の値に制御することが可能な静電気拡散性を有するセラミックス材料を得ること。【解決手段】 アルミナ、ジルコニア、コーディライトなどの酸化物系セラミックスに導電付与剤として炭化珪素とチタン酸化物を分散含有することにより、緻密で物理的・化学的性質に優れた、104〜1012Ω・cmの体積抵抗率を有する静電気拡散性を有するセラミックス材料である。これによって、マトリックスとなる酸化物系セラミックスの優れた耐摩耗性、耐食性、化学的安定性、機械的特性を低下させることなく、かつ、体積抵抗率を任意の値に制御することが可能な、静電気耐性の低い電子デバイスなどの周辺部材や付帯部品、それらの製造に用いられる製造用治工具に使用される静電気拡散性を有するセラミックス材料が得られる。
請求項（抜粋）：
電気絶縁性の酸化物系セラミックス基地中に、炭化珪素とチタン酸化物を分散した静電気拡散性を有するセラミックス材料。
引用特許：
引用文献：
前のページに戻る
