基板のエッチング方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-290696
公開番号（公開出願番号）：特開2003-100700
出願日： 2001年09月25日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：

【要約】【課題】レジスト膜に開口させた窓を通してエッチングする場合、レジスト膜によりエッチングの進行状況を正確に知ることが困難で、高価な設備を必要とした。【解決手段】基板1上を被覆するレジスト膜3に、複数の微細開口窓3bを近接配置し、微細開口窓3b間のレジスト膜3を通して表示される基板1のエッチング状態から基板1に対するエッチング処理を制御する。

請求項（抜粋）：

基板上をレジスト膜で被覆し、このレジスト膜の要部を開口させてエッチング用の開口窓を形成し、このエッチング用開口窓に露呈した基板表面をエッチングする基板のエッチング方法において、上記レジスト膜に、複数の微細開口窓を近接配置し、微細開口窓間のレジスト膜を通して表示される基板のエッチング状態から基板に対するエッチング処理を制御するようにしたことを特徴とする基板のエッチング方法。

Fターム (4件)：

5F043AA01 , 5F043DD24 , 5F043DD30 , 5F043GG10

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