特許
J-GLOBAL ID：200903087474423364
ペリクル装着装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-261197
公開番号（公開出願番号）：特開平6-110200
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 ペリクル付きフレームと基板との装着を行うチャンバ内の気圧を、ペリクル付き基板を使用する露光装置の所定気圧と一致させることのできるペリクル装着を提供する。【構成】 ペリクル付きフレームと基板との装着を行うチャンバ1b内の気圧を気圧センサ1fで測定する。ペリクル付き基板を使用する露光装置の所定気圧を設定した気圧コントローラー1gは、気圧センサ1fからの気圧情報に従って送風機1cを制御し、チャンバ1b内の気圧を設定気圧と一致させる。
請求項（抜粋）：
ほぼ密閉に保たれたチャンバ内でペリクル付きフレームと基板とを装着して、所定気圧に制御された露光装置で使用されるペリクル付き基板を作成するペリクル装着装置において、前記チャンバ内の気圧を前記所定気圧に制御する気圧制御手段を設けたことを特徴とするペリクル装着装置。
IPC (2件)：
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