特許

J-GLOBAL ID：200903087479118497

撮像素子、撮像素子の製造方法および露光装置

発明者： 鈴木 純児
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-237320
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068491
出願日： 1998年08月24日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 撮像素子の感度を高める。【解決手段】 CCDの基板部Sに形成される複数の受光部PDのアレイ上には、それぞれ空間SPを有するようにマイクロレンズ20が形成される。矢印pで示される光は、マイクロレンズ20で屈折され、空間SPを進んで受光部PDに達する。マイクロレンズ20と受光部PDとの間に空間SPを有することにより、マイクロレンズ20の厚みを減じることができる。これにより、光がマイクロレンズ20を透過するときの強度減衰量が減じられて撮像素子の感度を増すことができる。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に形成される複数の光電変換部と、前記光電変換部の各々に対して集光する集光レンズとを有し、前記集光レンズと前記複数の光電変換部との間に空間を設けたことを特徴とする撮像素子。

IPC (4件)：

H01L 27/14 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 31/02

FI (5件)：

H01L 27/14 D ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 N ,  H01L 21/30 525 W ,  H01L 31/02 B

Fターム (42件)：

4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA04 ,  4M118CA34 ,  4M118CA35 ,  4M118CA40 ,  4M118EA01 ,  4M118EA20 ,  4M118FA06 ,  4M118FA35 ,  4M118GD04 ,  4M118GD06 ,  5F046AA22 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC06 ,  5F046CC16 ,  5F046EA02 ,  5F046EA04 ,  5F046EB02 ,  5F046EB03 ,  5F046EB07 ,  5F046EC01 ,  5F046ED01 ,  5F046ED03 ,  5F046FA02 ,  5F046FA10 ,  5F046FB02 ,  5F046FC05 ,  5F088AA20 ,  5F088AB02 ,  5F088BA01 ,  5F088BB03 ,  5F088CB20 ,  5F088DA20 ,  5F088HA03 ,  5F088LA05