特許
J-GLOBAL ID：200903087484449809
半導体集積回路装置用測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-072991
公開番号（公開出願番号）：特開平9-264922
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：
【要約】【課題】 測定回路経路を短縮して、良好な高周波信号の測定ができ、また、狭電極ピンピッチのICでも、その電気的諸特性を測定することができる測定装置を得ること。【解決手段】 本発明の測定装置用ソケット65は、高周波測定回路が実装され、その測定回路に接続されている複数のスルーホール72が形成されている回路基板70の、それぞれのスルーホールに対応した位置の回路基板の内部に水銀溜まり73を配設し、それら各水銀溜まりの開口部74及び前記回路基板の表面を弾性シート80で覆い、前記各水銀溜まりに対応した位置で受けピン85をそれぞれ前記弾性シートに貫通させ、そして前記各スルーホールを封止して前記各水銀溜まりに水銀Agを封入した構造で構成されている。
請求項（抜粋）：
高周波測定回路が実装され、該高周波測定回路に接続されていて所定の配列、ピッチで複数のスルーホールが形成されている回路基板の、それぞれのスルーホールに対応した位置の回路基板の内部に水銀溜まりが配設されており、該各水銀溜まりの開口及び前記回路基板の表面を弾性シートで覆い、前記各水銀溜まりに対応した位置で受けピンがそれぞれ前記弾性シートを貫通、固定されており、そして前記各スルーホールを封止して前記各水銀溜まりに水銀が封入されていることを特徴とする半導体集積回路装置の測定装置用ソケット。
IPC (4件)：
G01R 31/26
, G01R 1/06
, H01L 21/60 321
, H01L 21/66
G01R 31/26 J
, G01R 1/06 A
, H01L 21/60 321 Y
, H01L 21/66 B
