光ディスク用ブランクマスタ,ガラスマスタ及びそれらの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶原康稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-152610
公開番号（公開出願番号）：特開平8-321080
出願日： 1995年05月26日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】表面にうねりを生じることなしに、良好な段差パターンを形成することができる光ディスク用ブランクマスタ,ガラスマスタ及びそれらの製造方法を提供する。【構成】ガラス基板10上に第1レジスト層12、中間層14、第2レジスト層16を順に積層するに際して、前記第1レジスト層12と第2レジスト層16を同一組成のポジ型レジストとし、また、前記中間層14を膜厚が15nm〜50nmのポリビニルアルコールとする。現像時には、先に第2レジスト層と中間層の現像が進み、その後に第1レジスト層の現像がスタートすることになるので、現像終了時には、幅の異なる2段階の断面形状を有する段差パターンが形成されることになる。

請求項（抜粋）：

基板上に、ポジ型レジストによって形成された第1レジスト層;この第1レジスト層上に、膜厚が15nm〜50nmのポリビニルアルコールによって形成された中間層;この中間層上に、第1レジスト層と同一組成のポジ型レジストによって形成された第2レジスト層;を含む光ディスク用ブランクマスタ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-056830
特開昭63-124246
特開昭64-064220

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