特許

J-GLOBAL ID：200903087489060128

半導体加速度センサ

発明者： 熊原 稔 ,  林 雅則
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 安藤 淳二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-391032
公開番号（公開出願番号）：特開2003-194845
出願日： 2001年12月25日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】 加速度に対する感度の調整が行え、錘部の変位ばらつきを抑えて加速度の検出精度を向上させた半導体加速度センサを提供すること。【解決手段】 半導体基板にエッチングを施して設けた支持部11と、可動電極12a,12bを有して支持部11と相対的に変位する錘部12と、支持部11から突設して錘部12を弾性的に支持する懸架部13と、錘部12の変位量に応じて抵抗値の変位する歪みゲージ抵抗14と、錘部12の最大変位量を規制し、錘部12に設けた可動電極12a,12bと相対する位置に固定電極15a,16aを有するストッパ15,16とを備えてなる半導体加速度センサ。可動電極12a,12bと固定電極15a,16a間に電圧を印加して錘部12の変位制御を行う変位制御回路2と、変位制御回路2の出力に基づいて加速度信号を演算する演算回路3を設けたことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

半導体基板にエッチングを施して設けられた支持部と、可動電極を有して支持部と相対的に変位する錘部と、支持部の所定の一辺から突設して錘部を弾性的に支持する懸架部と、懸架部の表面に設けられて錘部の変位量に応じて抵抗値の変位する歪みゲージ抵抗と、支持部に設けられて錘部の最大変位量を規制し、錘部に設けられた可動電極と相対する位置に固定電極を有するストッパと、を備えてなるセンサチップに、前記可動電極と前記固定電極との間に電圧を印加して前記錘部の変位制御を行う変位制御回路と、変位制御回路からの出力に基づいて加速度信号を演算する演算回路とを設けたことを特徴とする半導体加速度センサ。

IPC (4件)：

G01P 15/12 ,  B81B 3/00 ,  G01P 21/00 ,  H01L 29/84

FI (4件)：

G01P 15/12 ,  B81B 3/00 ,  G01P 21/00 ,  H01L 29/84 A

Fターム (15件)：

4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA28 ,  4M112CA30 ,  4M112CA32 ,  4M112DA12 ,  4M112EA02 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112FA01 ,  4M112FA03 ,  4M112FA07