特許
J-GLOBAL ID：200903087500620491
銅層と酸化アルミニウムセラミックとの間の堅固な結合の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-243606
公開番号（公開出願番号）：特開平5-194065
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1993年08月03日
要約：
【要約】【目的】 カップリング剤を用いずに銅層と酸化アルミニウムセラミックとの間に堅固な結合を形成する方法を提供すること。【構成】 最初に酸化アルミニウム表面に対して真空中でプラズマエッチングプロセスを実施し、その直後にプラズマエッチングした面をスパッタリングによって銅めっきする。
請求項（抜粋）：
スパッターリングによって塗布した銅層と酸化アルミニウムセラミックとの間の堅固な結合の形成方法において、酸化アルミニウム面に対して最初に真空下でプラズマエッチングプロセスを実施し、その直後にプラズマエッチングした面をスパッタリングによって銅でメッキすることを含む方法。
IPC (5件)：
C04B 41/91
, C04B 35/10
, C04B 41/88
, C23C 14/02
, C23C 14/34
