特許

J-GLOBAL ID：200903087505068304

顕微鏡画像における深度選択の方法および装置

発明者： ギュンター シェッペ (原語表記)Guenter Schoeppe
出願人/特許権者： カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 松田 省躬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-200394
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099618
出願日： 2000年07月03日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 顕微鏡画像における深度選択の方法。【解決手段】周期的に変化する明度曲線を有し、且つnを2より大きい整数として格子定数の1/nだけ変位する投射構造によって、表面情報を検出する方法において、投射画像は、CCDカメラによって検出され、各画像点に対して、その都度の格子位相を乗じた明視野輝度を表示する情報が検出され、これらの画像から正弦成分および余弦成分が抽出され、式I. Ixy=Iobxy*m*sin xII. Ixy=Iobxy*m*cos x が構成され、m = Iobxy*√(sin2x+cos2 x)/Iobxyによって、変調度mを計算する。

請求項（抜粋）：

周期的に変化する明度曲線を有し、且つnを2より大きい整数として格子定数の1/nだけ変位する投射構造によって、表面情報を検出する方法において、投射画像は、CCDカメラによって検出され、各画像点に対して、その都度の格子位相を乗じた明視野輝度を表示する情報が検出され、これらの画像から正弦成分および余弦成分が抽出され、それらから I. Ixy=Iobxy*m*sin x II. Ixy=Iobxy*m*cos x が構成され、そして、I式およびII式から変調度mが計算され、 m = Iobxy*√(sin2x+cos2 x)/Iobxy表示用に使用されることを特徴とする方法。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/36

FI (3件)：

G01B 11/00 Z ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/36

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 表面形状3次元計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-008439   出願人：松下電工株式会社