特許
J-GLOBAL ID：200903087505477069
表面変位測定器及びその測定器を用いた測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-083009
公開番号（公開出願番号）：特開2003-279307
出願日： 2002年03月25日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：
【要約】【課題】 従来の表面変位測定器は、対物レンズを音叉に取り付けて振動される振幅は決められた固有振動数でしかできないため高精度の測定には不向きである。また、振動した音叉の位置をセンサで検出し、被測定物の表面の変位を間接的に測定しているので誤差が生じやすい。さらに、装置構成が複雑であるがために測定器が大型化する。【解決手段】 レーザー光を発生する光源と、該光源から出射されるレーザー光を垂直方向から被測定物の表面へ集光させる集光手段と、該集光手段の前段に配設されて前記光源からのレーザー光を前記集光手段へ導くと共に該集光手段からの反射光をホトダイオードへと導くビームスプリッタとを具備し、そのホトダイオードで受光した受光量に基づいて前記被測定物の変位を測定する表面変位測定器であって、前記集光手段が液晶レンズであり、前記液晶レンズから出射するレーザー光を円環状とするための遮光部材をその液晶レンズに配した。
請求項（抜粋）：
レーザー光を発生する光源と、該光源から出射されるレーザー光を垂直方向から被測定物の表面へ集光させる集光手段と、該集光手段の前段に配設されて前記光源からのレーザー光を前記集光手段へ導くと共に該集光手段からの反射光をホトダイオードへと導くビームスプリッタとを具備し、そのホトダイオードで受光した受光量に基づいて前記被測定物の変位を測定する表面変位測定器であって、前記集光手段が液晶レンズであり、前記液晶レンズから出射するレーザー光を円環状とするための遮光部材をその液晶レンズに配したことを特徴とする表面変位測定器。
Fターム (9件)：
2F065AA09
, 2F065DD06
, 2F065FF10
, 2F065GG06
, 2F065JJ18
, 2F065LL10
, 2F065LL30
, 2F065LL53
, 2F065NN02
