アクテイブマトリクス基板

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：泉名謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-183352
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013765
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：

【要約】【目的】アクティブマトリクス基板を駆動素子に用いた液晶表示素子は、フラットパネルディスプレイの代表であり、特に大画面化、高精細化に際してはアクティブ素子としてTFTが最有力視されている。しかし、さらなる高表示品位のためにはオフ電流を低く抑えることが必要であり、本発明はこの点を改良すべくなされたものである。【構成】薄膜トランジスタのゲート絶縁膜13の膜厚が、ソース電極16及びドレイン電極17近傍でチャネル部のゲート絶縁膜13中央部の膜厚より厚くなっている。

請求項（抜粋）：

透明絶縁性基板上に走査電極及び信号電極を行列状に形成し、これらの電極の交差部分近傍に薄膜トランジスタを配したアクティブマトリクス基板において、前記薄膜トランジスタのゲート絶縁膜の膜厚が、ソース電極及びドレイン電極近傍でチャネル部のゲート絶縁膜中央部の膜厚より厚くなっていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。

IPC (3件)：

H01L 29/784 , G02F 1/136 500 , H01L 27/12

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