特許
J-GLOBAL ID：200903087513820228
超微粒子膜の物性制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-229537
公開番号（公開出願番号）：特開平5-044045
出願日： 1991年08月15日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：
【要約】【目的】 微粒子膜を形成した後において超微粒子膜の物理的性質や電気的特性、化学的性質その他の物性を簡単にコントロールないし調整できるようにする。【構成】 ガスデポジション法によって回路基板1の上に超微粒子膜2を形成した後、超微粒子膜2にレーザ光15を照射して加熱し、超微粒子膜2の物理的性質や電気的特性、化学的性質などを調整する。
請求項（抜粋）：
超微粒子膜に光を照射することにより超微粒子膜の物性を変化させることを特徴とする超微粒子膜の物性制御方法。
IPC (4件)：
C23C 16/56
, H01B 13/00 503
, H01L 21/20
, H05K 1/16
