特許
J-GLOBAL ID：200903087522207890
レ-ザ気体移送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田中 隆秀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-313709
公開番号（公開出願番号）：特開平6-164025
出願日： 1992年11月24日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 レーザ気体循環路を循環するレーザ発振用気体中に潤滑油ミスト、金属粉等の不純物が混入しないようにすること。【構成】 レーザ気体移送装置Uは、レーザ発振用気体をレ-ザ発振管に循環させるレーザ気体循環路8に配置された気体循環用ブロア9を有している。この気体循環用ブロア9に一体的に連結されたブロア回転軸14は、ジャーナル気体軸受け27、スラスト気体軸受け28により支持されている。前記軸受け27,28には、軸受け気体供給装置U1により、前記レーザ気体循環路8のレーザ発振用気体の圧力よりも高い圧力のレーザ発振用気体が供給される。
請求項（抜粋）：
レーザ発振用気体をレ-ザ発振管に循環させるレーザ気体循環路に配置された気体循環用ブロアと、この気体循環用ブロアに一体的に連結されたブロア回転軸と、このブロア回転軸を回転自在に支持する軸受けと、前記ブロア回転軸を回転駆動するモータと、前記ブロア回転軸、軸受け及びモータの外側を覆うケーシングとを備えたレーザ気体移送装置において、下記の要件(Y01)〜(Y02)を備えたことを特徴とするレーザ気体移送装置、(Y01) 前記軸受けは、気体軸受けにより構成されたこと。(Y02) 前記気体軸受けに前記レーザ気体循環路のレーザ発振用気体の圧力よりも高い圧力のレーザ発振用気体を供給する装置。
引用特許：
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