特許
J-GLOBAL ID：200903087524735699
単結晶の結晶性評価方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-329677
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145641
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【目的】 X線を用いた結晶の評価方法として、試料の全体から回折像を撮影するトポグラフ撮影法と、試料の一点からの回折強度の角度分布を求めるロッキングカーブ測定法がある。トポグラフによって欠陥の面内分布が分かる。しかしロッキングカーブ測定と関連づけられないために、試料の全面においてロッキングカーブ測定を実行しなければならない。トポグラフによって分かった欠陥の近傍のみにロッキングカーブ測定を限定し評価に必要な時間を短縮する事が第1の目的である。さらに試料に歪があっても全体のトポグラフを撮影できるようにする事が第2の目的である。【構成】 走査線上に複数の点をとり所望の面での回折が起こるX線の角度を求め、走査とともにステージを回転させながらトポグラフを行い、全面のトポグラフ像を撮影する。さらにトポグラフ撮影と、ロッキングカーブ測定を同じ装置で同じ配置において実行する。トポグラフにより欠陥の存在、位置が判明するから、欠陥と正常部分を通る直線に沿ってロッキングカーブ測定を行う。
請求項（抜粋）：
X線2結晶法を用いた単結晶の評価において、トポグラフ撮影によって試料全体の結晶性を評価し、トポグラフで観察された結晶欠陥などの結晶性の特異な部分を横切りかつ結晶性が均一な部分を含む線上でロッキングカーブの一次元的測定を行い、結晶性の均一な部分と特異な部分の差異を定量的に評価するようにしたことを特徴とする単結晶の結晶性評価方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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