特許

J-GLOBAL ID：200903087526067812

流量センサー

発明者： 山岸 喜代志 ,  川西 利明 ,  友成 健二
出願人/特許権者： 三井金属鉱業株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-281627
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118566
出願日： 1997年10月15日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 熱式流量センサーの発熱体周囲の温度が過度に上昇するのを防止し、流量センサーの経時劣化及び可燃性の被検知流体の着火爆発を防止する。【解決手段】 発熱体112とその発熱の影響を受けるよう配置された流量検知用感温体104-1とを有し、発熱体112からの熱が被検知流体に伝達され吸熱されるよう被検知流体流通経路が形成されている。流量検知用感温体104-1と温度補償用感温体104-2とを含んでブリッジ回路104が形成され、その出力が差動増幅回路106及び積分回路10を経てトランジスター110のベースに入力され、トランジスター110に電源から供給される電流が制御される。この電流即ち発熱体112に供給される電流は、感温体104-1の感温結果即ちブリッジ回路104の出力が目標と一致するように、制御される。この発熱体112に印加される電圧により被検知流体の流量を検知する。

請求項（抜粋）：

発熱体と該発熱体の発熱の影響を受けるように配置された流量検知用感温体とを有しており、前記発熱体からの熱が被検知流体に伝達され吸熱されるように該被検知流体のための流通経路が形成されており、前記発熱体の発熱に基づき前記被検知流体による吸熱の影響を受けた感温が前記流量検知用感温体において実行され、前記発熱体に電流を供給する経路に前記発熱体の発熱を制御する発熱制御手段が接続されており、該発熱制御手段は前記感温の結果が目標と一致するように該感温の結果に基づき前記発熱体へ供給する電流を制御し、前記発熱制御手段による制御状態に基づき前記被検知流体の流量を検知することを特徴とする流量センサー。