圧電共振器及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (10件)：前田弘 , 小山廣毅 , 竹内宏 , 嶋田高久 , 竹内祐二 , 今江克実 , 藤田篤史 , 二宮克也 , 原田智雄 , 井関勝守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-000853
公開番号（公開出願番号）：特開2006-191304
出願日： 2005年01月05日
公開日（公表日）： 2006年07月20日
要約：

【課題】音響ミラーを用いた圧電共振器において高い結晶性と優れた平坦性とを有する圧電膜を用いることを可能にし、挿入損失が小さく且つ周波数選択性が高い圧電共振器を実現できるようにする。【解決手段】基板11の上には、酸化シリコンからなる第1の音響ミラー材料12とタングステンからなる第2の音響ミラー材料13とが交互に6周期積層されており、音響ミラー14が形成されている。音響ミラー14の上には、金からなる第1の接着層31と第2の接着層32とからなる下部電極16が形成されており、第1の接着層31と第2の接着層32との間には接着面19が形成されている。下部電極16の上には、窒化アルミニウムからなる圧電膜23が形成され、圧電膜23の上にはモリブデンからなる上部電極24が形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板の上に設けられ、第1の音響ミラー材料と、該第1の音響ミラー材料と比べて音響インピーダンスが高い第2の音響ミラー材料とが交互に積層された積層構造を有する音響ミラーと、前記音響ミラーの上に設けられた圧電膜と、前記圧電膜の上に設けられた上部電極と、前記圧電膜の下に設けられた下部電極とを備え、前記基板と前記圧電膜との間には、金属膜同士が貼り合わされた接着面が形成されていることを特徴とする圧電共振器。

IPC (7件)：

H03H 9/17 , H03H 3/02 , H04R 17/00 , H01L 41/09 , H01L 41/187 , H01L 41/18 , H01L 41/22

FI (7件)：

H03H9/17 F , H03H3/02 B , H04R17/00 , H01L41/08 C , H01L41/18 101B , H01L41/18 101Z , H01L41/22 Z

Fターム (12件)：

5D004AA01 , 5D004AA02 , 5D004CC10 , 5D004GG00 , 5J108BB08 , 5J108CC11 , 5J108EE03 , 5J108EE13 , 5J108EE14 , 5J108KK01 , 5J108KK07 , 5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (1件)

周波数選択構成要素
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-024973 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド

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