特許

J-GLOBAL ID：200903087529919577

処理炉の温度監視装置

発明者： 鍋嶋 恵子
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-308733
公開番号（公開出願番号）：特開平10-141870
出願日： 1996年11月05日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】 プラズマCVD装置の処理炉等において熱伝対等の取付不良等に起因した温度異常を速やかに検知できる温度監視装置を提供する。【解決手段】 ヒータの加熱時間に対する処理炉の適正な昇温特性を記憶装置等に予め記憶させて保持し、センサの検出温度(モニタ温度)を所定のサンプリング周期で取り込み、個々の取込時において前回取り込んだ検出温度と今回取り込んだ検出温度との差を算出し、この差が適正な昇温特性から導かれる値域から外れていた場合を異常の発生と判断し、ブザーの鳴動等で異常の発生を報知するように構成した。

請求項（抜粋）：

ヒータにより加熱される処理炉の温度をセンサにより検出し、該センサの検知温度に基づき前記処理炉内の温度を監視する処理炉の温度監視装置において、ヒータ加熱時間に対する処理炉の適正昇温特性を格納した基準特性記憶手段と、前記センサの検知出力を所定のサンプリング周期で取り込む信号取込手段と、該信号取込手段により取り込まれた前記センサの検知温度と前記出力基準特性記憶手段に格納された適正昇温特性とを比較して異常の発生の有無を判定する異常判定手段とを備えることを特徴とする処理炉の温度監視装置。

IPC (7件)：

F27D 21/00 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/324 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (7件)：

F27D 21/00 G ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/304 341 D ,  H01L 21/324 T ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B