特許
J-GLOBAL ID：200903087534299072
エレクトロクロミック調光体の製造方法および製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-197015
公開番号（公開出願番号）：特開平7-028098
出願日： 1993年07月14日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】プレスパッタの際にシャッターや器壁に付着した膜の成分が弾けて基板やターゲットに付着し基板上の異物となるのを防ぐ。【構成】ターゲット1〜4が回転可能なカソード構造で、成膜すべき基板が前記ターゲット1〜4の上側に位置するデポジションアップ構成とされ、プレスパッタを前記ターゲット1〜4が前記成膜すべき基板と相対しない位置に回転させた状態で行う。
請求項（抜粋）：
電気化学的に着消色するエレクトロクロミック調光体の製造方法であって、基板上に形成される透明電導膜、第1のエレクトロクロミック膜、プロトン伝導性電解質膜、第2のエレクトロクロミック膜のうちの少なくとも1層をスパッタリング法により形成するものであり、プレスパッタをターゲットが成膜すべき基板と相対しない位置に設定された状態で行うことを特徴とするエレクトロクロミック調光体の製造方法。
IPC (2件)：
G02F 1/15 505
, G02F 1/15 502
