特許

J-GLOBAL ID：200903087542005207

窒化アルミニウム焼結体の製造方法

発明者： 下田 浩平 ,  養老 克彦 ,  柊平 啓 ,  仲田 博彦 ,  高橋 邦博
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-167133
公開番号（公開出願番号）：特開平5-017235
出願日： 1991年07月08日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】【目的】 色ムラや焼きムラが生じ難い窒化アルミニウム焼結体を製造する。【構成】 100重量部の窒化アルミニウムに対して酸化イットリウム換算でイットリウム化合物を0.01重量部以上15重量部以下含有する窒化アルミニウム成形体を準備する。少なくとも炭素を含む材料から構成された炉の内部に非酸化性ガスを導入することによって窒化アルミニウム成形体を炉の内部で焼成する。炉内に導入される非酸化性ガスの露点は-30°C以下である。

請求項（抜粋）：

100重量部の窒化アルミニウムに対して酸化イットリウム換算でイットリウム化合物を0.01重量部以上15重量部以下含有する窒化アルミニウム成形体を準備する工程と、少なくとも炭素を含む材料から構成された炉の内部に非酸化性ガスを導入することによって前記窒化アルミニウム成形体をその炉の内部で焼成する工程とを備え、前記導入される非酸化性ガスの露点は-30°C以下である、窒化アルミニウム焼結体の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-225375
  
• 特開昭63-277573
  
• 特開平2-248368