特許
J-GLOBAL ID：200903087545344320
固体撮像素子及びその駆動方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-126543
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335854
出願日： 1994年06月08日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 CCD固体撮像素子において、垂直転送レジスタの取り扱い電荷量を確保しながら、垂直転送レジスタの垂直出力ゲート部と水平転送レジスタ間の定常電界を緩和し、且つ読み出し電圧の低減を図る。【構成】 複数のセンサ部22と、垂直転送レジスタ23と、垂直転送レジスタ23の最終段の垂直出力ゲート部VOGに接する水平転送レジスタ24を有し、垂直転送レジスタ23の転送電極27A〜27Dを2層多結晶シリコン膜で構成し、垂直転送レジスタ23の垂直出力ゲートVOGをゲート電極が一方をトランスファ電極、他方をストレージ電極とする2層の多結晶シリコン膜で形成された2相構造をもって構成する。
請求項（抜粋）：
複数のセンサ部と、垂直転送レジスタと、該垂直転送レジスタの最終段の垂直出力ゲート部に接する水平転送レジスタを有し、上記垂直転送レジスタの転送電極が複数層の電極で構成され、上記垂直出力ゲート部のゲート電極が一方をトランスファ電極とし、他方をストレージ電極とした2層の上記電極で形成されて成ることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件)：
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