特許

J-GLOBAL ID：200903087547567394

半導体装置の生産管理方法及び生産管理装置

発明者： 高橋 和雄
出願人/特許権者： 山形日本電気株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-145019
公開番号（公開出願番号）：特開2002-341920
出願日： 2001年05月15日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：

【要約】【課題】 遅延度を利用した生産制御装置において、半導体生産装置に仕掛かったロット群より遅れの度合いが高いロットを遅れの度合いが低いロットより優先して作業するという着手順制御を行うことにより遅れを回復させる。【解決手段】 納期遵守の度合いがそれぞれ異なる製品が混在して存在する生産ラインを介して製品を生産管理する半導体装置の生産管理方法であって、全製造工程を複数の工程群に分割し、工程群単位に納期管理を行い、納期遵守の重要度が高い製品ほど、分割する工程群の数を多くする。

請求項（抜粋）：

納期遵守の度合いがそれぞれ異なる製品が混在して存在する生産ラインを介して製品を生産管理する半導体装置の生産管理方法において、全製造工程を複数の工程群に分割し、工程群単位に納期管理を行い、納期遵守の重要度が高い製品ほど、分割する工程群の数を多くすることを特徴とする半導体装置の生産管理方法。

IPC (2件)：

G05B 19/418 ,  G06F 17/60 108

FI (2件)：

G05B 19/418 Z ,  G06F 17/60 108

Fターム (12件)：

3C100AA03 ,  3C100AA05 ,  3C100AA29 ,  3C100AA34 ,  3C100AA38 ,  3C100BB01 ,  3C100BB12 ,  3C100BB15 ,  3C100BB17 ,  3C100BB31 ,  3C100BB33 ,  3C100EE06