特許
J-GLOBAL ID：200903087552444861
磁気抵抗効果型ヘッドの製法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-148670
公開番号（公開出願番号）：特開平11-339228
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】生産性が良く、狭トラック化が可能で、再生波形および出力が良好な磁気抵抗効果型ヘッドとその製法を提供する。【解決手段】磁気的信号を電気的信号に変換する磁気抵抗効果膜と、該膜に磁界を印加する磁区制御膜と信号検出電流を流す電極と、該膜を磁気的にシールドする上部シールド膜および下部シールド膜を有する磁気抵抗効果型ヘッドにおいて、前記磁気抵抗効果膜3が多層膜で構成され、該膜の前記上部シールド膜8側にCr,Ru,Rh,Pd,Ir,Ptあるいはこれらの少なくとも一種を含む合金からなる層を有し、前記電極5がTa,W,Mo,Nbあるいはこれらの少なくとも一種を含む合金からなる単層膜、または、該電極5の下部シールド膜1側にTa,W,Mo,Nbあるいはこれらの少なくとも一種を含む合金の層からなる多層膜を、SF6ガスによるリアクティブイオンエッチングにより形成する磁気抵抗効果型ヘッドとその製法。
請求項（抜粋）：
磁気抵抗効果を用いて磁気的信号を電気的信号に変換する磁気抵抗効果膜と、前記磁気抵抗膜に磁界を印加する磁区制御膜と、前記磁気抵抗効果膜に信号検出電流を流すための電極と、前記磁気抵抗効果膜を磁気的にシールドする上部シールド膜および下部シールド膜を有する磁気抵抗効果型ヘッドにおいて、前記磁気抵抗効果膜が多層膜で構成され、該多層膜の前記上部シールド膜側にCr,Ru,Rh,Pd,IrまたはPt、あるいは、これらの少なくとも一種を含む合金からなる層が形成されており、前記電極がTa,W,MoまたはNb、あるいは、これらの少なくとも一種を含む合金からなる単層膜、または、該電極の下部シールド膜側にTa,W,MoまたはNb、あるいは、これらの少なくとも一種を含む合金からなる層を有する多層膜で構成されることを特徴とする磁気抵抗効果型ヘッド。
引用特許：
前のページに戻る
