ポジ型感光性樹脂前駆体組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-282466
公開番号（公開出願番号）：特開2001-064507
出願日： 1999年10月04日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】アルカリ現像可能なポジ型の感光性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、フェノール性水酸基を有する化合物と、(c)エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。(式中R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3は水素、または炭素数1から20までの有機基を示す。nは10から100000までの整数、mは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。ただしp+q>0である。)

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)一般式(2)で表されるフェノール性水酸基を有する化合物と、(c)エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。【化1】(式中R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3 は水素、または炭素数1から20までの有機基を示す。nは10から100000までの整数、mは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。ただしp+q>0である。)【化2】(式中R4、R5、R7、R8は、水素原子、炭素数1〜4から選ばれるアルキル基、アルコキシル基、カルボキシル基、エステル基のいずれかを示す。R6は水酸基、水素原子、炭素数1〜7から選ばれるアルキル基、ヒドロキシベンジル基のいずれかを示す。各R4、各R5は各々同じでも異なっていてもよい。また各R6は同じでも異なっていてもよく、R6の少なくとも1つは水酸基である。α、β、γ、δは0〜3の整数を表す。ただし、α+γ≦5、β+δ≦5、α+β>0である。xは1〜3の整数を示す。)

IPC (7件)：

C08L 79/08 , C08K 5/13 , C08K 5/22 , G03F 7/022 601 , G03F 7/037 , H01L 21/027 , H01L 21/312

FI (7件)：

C08L 79/08 A , C08K 5/13 , C08K 5/22 , G03F 7/022 601 , G03F 7/037 , H01L 21/312 D , H01L 21/30 502 R

Fターム (28件)：

2H025AA04 , 2H025AA13 , 2H025AA20 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025BE02 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CB45 , 2H025CC20 , 2H025FA29 , 4J002CC03X , 4J002CC04X , 4J002CC05X , 4J002CC06X , 4J002CC07X , 4J002CL06W , 4J002CL07W , 4J002GP03 , 5F058AA10 , 5F058AC07 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH01 , 5F058AH02 , 5F058AH03

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