特許
J-GLOBAL ID：200903087559586254
処理装置及び処理装置の処理状況表示方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-225123
公開番号（公開出願番号）：特開2003-037032
出願日： 2001年07月25日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：
【要約】【課題】 被処理体の処理のために実行されているレシピの時間的な進捗状況を容易に把握することができる処理装置を提供する。【解決手段】 複数のステップを含むプログラムよりなるレシピに基づく指令を制御本体40から出すことによって、被処理体Wを処理容器4内にロードして所定の処理を施し、処理済みの前記被処理体を前記処理容器内からアンロードするようにした処理装置において、時間記憶手段44にレシピを実行して完了するまでの時間をレシピ基準総時間として記憶しておく。時間演算制御手段42により、前記レシピ基準総時間とレシピの開始からの経過時間とに基づいて前記レシピの進捗率を演算で求める。この求めた進捗率を表示手段46に表示する。これにより、被処理体の処理のために実行されているレシピの時間的な進捗状況を容易に把握できるようにする。
請求項（抜粋）：
複数のステップを含むプログラムよりなるレシピに基づく指令を制御本体から出すことによって、被処理体を処理容器内にロードして所定の処理を施し、処理済みの前記被処理体を前記処理容器内からアンロードするようにした処理装置において、少なくともレシピ基準総時間を記憶する時間記憶手段と、前記レシピの開始からの経過時間と前記レシピ基準総時間とに基づいて前記レシピの進捗率を少なくとも演算で求める時間演算制御手段と、少なくとも前記進捗率を表示する表示手段とを備えたことを特徴とする処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/02
, G05B 19/02
, G05B 19/418
H01L 21/02 Z
, G05B 19/02 A
, G05B 19/418 Z
3C100AA29
, 3C100BB14
, 3C100BB15
, 3C100BB33
, 5H219AA07
, 5H219CC12
, 5H219EE01
, 5H219EE05
, 5H219HH11
, 5H219HH25
