冶金製品表面の傷を検出する方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：越場隆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-502676
公開番号（公開出願番号）：特表平11-507728
出願日： 1995年06月16日
公開日（公表日）： 1999年07月06日
要約：

【要約】可視スペクトル端に近い波長の2本のコヒーレント光の平面ビーム(13,14)で表面を照射して傷を検出する。2本のビームは例えばレーザーダイオード(11,12)によって作られ、製品表面(2)に対してほぼ直角な単一の平面(P)上に単一の光の軌跡(T)を形成する。各ビームはほぼ等しい入射角(i)で互いに斜めを向いている。軌跡(T)に沿った照度を表面(2)と直交する方向(18)に沿って例えば線形アレイカメラ(17)を用いて上記波長で測定する。局部的且つ急激な照度の低下によって傷の存在が示唆される。連続鋳造法で得られた冶金製品素材上の小さな穴や掻き傷の検出に利用される。

請求項（抜粋）：

ゼロ以外の入射角で表面を照らし、表面の照度に比べて照度の低い領域として現れる傷を明らかにする、冶金製品、例えば連続鋳造で得られる素材の表面(2)の空洞な傷(1)を検出する方法において、上記表面(2)に対してほぼ直角な同一の平面(P)上にある、ほぼ同一の入射角(i)で互いに斜めを向いた可視光線の末端に近い波長を有する光の2本の平面ビーム(13,14)で表面を照らして表面(2)上に単一の光の軌跡(T)を形成し、表面(2)と直角な方向(18)において上記の波長で上記軌跡(T)に沿って、傷の存在を示唆する局部的な照度の強い低下を測定することを特徴とする方法。

前のページに戻る