遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小栗昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-048782
公開番号（公開出願番号）：特開2002-251011
出願日： 2001年02月23日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】半導体デバイスの製造において、ハーフトーン位相差シフトマスク適正に優れた遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物、更には、感度、プロファイルにも優れた遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物を提供する。【解決手段】(A)特定の構造を有する酸の作用により分解する基を有する重合体、(B)特定の溶解阻止剤、及び(C)イミドスルフォネート酸発生剤を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

(A)一般式(Ia)及び一般式(Ib)で表される繰り返し単位のうち少なくともいずれかと一般式(II)で表される繰り返し単位とを有し、かつ酸の作用により分解する基を有する重合体、(B)一般式(CI)又は(CII)で表される溶解阻止剤、及び(C)一般式(PAG6)で表されるイミドスルフォネート酸発生剤を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。【化1】式(Ia)中:R1及びR2は、各々独立に、水素原子、シアノ基、水酸基、-COOH、-COOR5、-CO-NH-R6、-CO-NH-SO2-R6、置換されていてもよい、アルキル基、アルコキシ基或いは環状炭化水素基、又は下記-Y基を表す。Xは、酸素原子、硫黄原子、-NH-、-NHSO2-又は-NHSO2NH-を表す。ここで、R5は、置換基を有していてもよい、アルキル基、環状炭化水素基又は下記-Y基を表す。R6は、置換基を有していてもよい、アルキル基又は環状炭化水素基を表す。Aは単結合又は2価の連結基を表す。-Y基;【化2】(-Y基中、R21〜R30は、各々独立に、水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。a,bは1又は2を表す。)式(Ib)中:Z2は、-O-又は-N(R3)-を表す。ここでR3は、水素原子、水酸基、アルキル基、ハロアルキル基、又は-OSO2-R4を表す。R4は、アルキル基、ハロアルキル基、シクロアルキル基又は樟脳残基を表す。式(II)中:R11,R12は、各々独立に、水素原子、シアノ基、ハロゲン原子、又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。Zは、結合した2つの炭素原子(C-C)を含み、置換基を有していてもよい脂環式構造を形成するための原子団を表す。【化3】一般式(CI)中、Xは、酸素原子、硫黄原子、-N(R53)-、又は単結合を表す。R51、R52及びR53は、各々独立に水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表し、R’は、-COOR’で酸分解性基を構成する基を表す。Rは有橋式炭化水素、飽和環式炭化水素またはナフタレン環を含むn1 価の残基を表す。n1は1〜4の整数を示し、q1は0〜10の整数を示す。一般式(CII)中、R60は、置換基を有していてもよいアルキル基又はハロゲン原子を表し、R61は、-O-R61で酸分解性基を構成する基を表し、m1は0〜4の整数を示す。p1は1〜4の整数を示す。【化4】R206は置換基を有していてもよい直鎖、分岐、環状アルキル基、置換されていてもよいアラルキル基、置換もしくは未置換のアリール基、樟脳基を示す。A2は置換基を有していてもよい直鎖、分岐アルキレン基、置換基を有していていてもよく、ヘテロ原子を含んでいてもよい単環又は多環環状アルキレン基、置換されていてもよい直鎖、分岐アルケニレン基、置換されていてもよく、ヘテロ原子を含んでいてもよい単環又は多環環状アルケニレン基、置換されていてもよいアリーレン基、置換されていてもよいアラルキレン基を示す。

IPC (11件)：

G03F 7/039 601 , C08F222/04 , C08F222/10 , C08F222/38 , C08F222/40 , C08K 5/00 , C08L 35/00 , C08L 45/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (11件)：

G03F 7/039 601 , C08F222/04 , C08F222/10 , C08F222/38 , C08F222/40 , C08K 5/00 , C08L 35/00 , C08L 45/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

Fターム (92件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB08 , 2H025CB10 , 2H025CB41 , 2H025CC20 , 4J002BH021 , 4J002BK001 , 4J002ED056 , 4J002ED066 , 4J002ED076 , 4J002EH006 , 4J002EH116 , 4J002EH126 , 4J002EH136 , 4J002EH146 , 4J002EJ066 , 4J002EV066 , 4J002EV237 , 4J002EV298 , 4J002EV308 , 4J002EX036 , 4J002FD200 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002FD208 , 4J002GH00 , 4J002GP03 , 4J002HA05 , 4J100AJ09P , 4J100AK32P , 4J100AL34P , 4J100AL36P , 4J100AL39P , 4J100AL41P , 4J100AM39P , 4J100AM43P , 4J100AM45P , 4J100AM47P , 4J100AR09Q , 4J100AR11Q , 4J100AR21Q , 4J100BA02P , 4J100BA02Q , 4J100BA03P , 4J100BA04P , 4J100BA04Q , 4J100BA05P , 4J100BA05Q , 4J100BA06P , 4J100BA06Q , 4J100BA11P , 4J100BA11Q , 4J100BA15Q , 4J100BA16P , 4J100BA16Q , 4J100BA20P , 4J100BA20Q , 4J100BA34P , 4J100BA34Q , 4J100BA35Q , 4J100BA40P , 4J100BA40Q , 4J100BA53P , 4J100BA55P , 4J100BA56Q , 4J100BA58P , 4J100BA58Q , 4J100BB01Q , 4J100BB18P , 4J100BC04P , 4J100BC04Q , 4J100BC08P , 4J100BC08Q , 4J100BC09P , 4J100BC09Q , 4J100BC12P , 4J100BC12Q , 4J100BC53P , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100JA38

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