特許
J-GLOBAL ID：200903087585011030
透明板の光透過特性検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-357130
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172753
出願日： 1991年12月24日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：
【要約】【目的】 装置を小型化するとともに、検査用の透明板全体にわたって光学的欠陥の検出を均一に行え、透明板の良否判断を厳密に行うことを可能とする。【構成】 発光ダイオード1とフォトダイオード2の間に透明板9を介在させ、キャリッジ4を検査開始位置に移動する。発光ダイオード1からの透過光は透明板9を通してフォトダイオード2で受光され電気信号に変換される。この電気信号はデジタル信号に変換されて、記憶装置15に記憶される。CPU14は、このデータに基づき、打点位置を計算し、XYプロッタ3に打点指示を送る。CPU14は、次の検査位置に移動するよう指示し、以下同様に検査データの計測、打点指示を行う。全検査終了後、CPU14は、光透過特性データを算出する。算出した光透過特性データ、または、打点結果から透明板の良否判定を行う。
請求項（抜粋）：
所定の光量を発光する発光手段と、前記発光手段からの光を受光する受光手段と、前記発光手段と前記受光手段との間に検査用の透明板を介在させた状態で、前記発光手段及び前記受光手段と、前記透明板とを相対的に移動させる移動手段と、前記移動手段によって移動設定された前記透明板の各検査位置において、前記受光手段によって検出された受光量データを取り込み、この受光量データに基づき、前記透明板の良否判断に用いる光透過特性データを求める演算処理手段と、を備えたことを特徴とする透明板の光透過特性検査装置。
IPC (2件)：
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