特許

J-GLOBAL ID：200903087585877810

検査デ-タ解析システムおよび検査デ-タ解析方法

発明者： 石川 誠二 ,  坂田 正雄 ,  中里 純 ,  下社 貞夫 ,  長友 宏人 ,  谷口 雄三 ,  佐藤 修 ,  岡部 勉 ,  坂本 雄三郎 ,  村松 公夫 ,  松岡 一彦 ,  橋本 泰造 ,  大山 祐一 ,  江原 裕 ,  宮崎 功 ,  花島 秀一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-018003
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200358
出願日： 1989年07月12日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、外観不良の発生原因を絞り込むのに好適な全く新規な解析を実現することにある。【解決手段】本発明は、上記目的を達成するために、被検査ワークの外観不良を検査する検査装置と、該検査装置が検査して得た検査結果を処理しその処理結果を出力する解析ユニットとを備え、該解析ユニットが、第一、第二の検査工程で初めて検出された外観不良の座標データを記憶する記憶手段と、第三の検査工程で検出された外観不良の座標データと該記憶手段が記憶する該第一、第二の検査工程で初めて検出された外観不良の座標データとを比較し、該第三の検査工程で検出された外観不良が該第一、第二、第三のいずれの検査工程で初めて検出された外観不良であるかを区別して出力する出力手段とを備えたものである。

請求項（抜粋）：

被検査ワークの外観不良を検査する検査装置と、該検査装置が検査して得た検査結果を処理しその処理結果を出力する解析ユニットとを備え、該解析ユニットが、第一、第二の検査工程で初めて検出された外観不良の座標データを記憶する記憶手段と、第三の検査工程で検出された外観不良の座標データと該記憶手段が記憶する該第一、第二の検査工程で初めて検出された外観不良の座標データとを比較し、該第三の検査工程で検出された外観不良が該第一、第二、第三のいずれの検査工程で初めて検出された外観不良であるかを区別して出力する出力手段とを備えたことを特徴とする検査データ解析システム。

IPC (4件)：

G06T 7/00 ,  G01N 21/956 ,  H01L 21/66 ,  B65B 57/10

FI (6件)：

G06F 15/62 405 A ,  G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 Z ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 A ,  B65B 57/10 D